第321章 怒吼的学术权威（2 / 2）

听到奚龙山发难，立刻有同事也参与进来：“胡工康工你们好，我叫王选玉，也是214所的高级工程师，我想请问你们有什么办法解决光刻胶引起的显影缺陷吗？目前国内工艺里的光刻胶清洗中，残胶问题很突出，导致下一工序中的重复投影出现图形失效的问题很突出，你们的实验线有没有打算对这一问题进行改进？”

顾峡生一看这阵仗吓了一跳，心说这不是为难人家嘛，这个胡一亭数学水平再高，也对付不了你们这群术业有专攻的高工啊！高级工程师可是副教授级别，研究员级高级工程师是正教授级别。好家伙，这一群人里倒有一半是正教授，剩下一半副教授，你们一人问一个问题，这胡总就是有三头六臂也答不上来吧！他虽然是世界级数学天才，有精通ic设计，但怎么说也不可能对工艺制程了解的像你们这么深啊！

“大家都别为难胡总和康总了，这些技术问题是所有晶圆厂的通病，你们这样问，让康总和胡总怎么回答嘛！”

康耀祥也讪讪地笑着，心说这还真不好回答，毕竟每个厂都有自己的工艺，解决问题的办法各不相同，真要笼统的回答，未免要被大家瞧不起，但若不结合具体问题来谈，那这个问题就没了边际，说道明天早上也说不完啊。

正当康耀祥犹豫着怎么说才合适的时候，胡一亭却很认真地开了口。

“这有什么难的，光刻机镜头是个大型组合镜头，光是镜片就有十几二十片，套筒一个接一个，想要完全避免几何畸变是不可能的，这个问题无论哪家光刻机厂商都有。

作为照明源的高压汞灯能量很高，曝光时的快门速度只有零点几秒，自然是会导致镜头组件出现瞬间加热又瞬间冷却的几何畸变，但这些都是工程上的问题，我们做制程的不要去过多的考虑，不要去抱怨机子不如外国人的问题，要是机子和外国人一样好了，还要我们干什么！

我们要知道，制程工艺里是允许几何畸变的，甚至要利用几何畸变，首先我们要摸清畸变的像场特征，从而在镜头对焦时寻找畸变误差最小的对位点，这既要求我们一次次的实验，寻找每个镜头的畸变像场特征，也要改进我们的硅片定位系统，改进激光干涉仪的精度，确保畸变可控。

我就只说这么一个思路吧，再多的我就不说了，都是技术机密。

至于光刻胶残留造成的显影缺陷，那就更容易解决了，我再说一遍我们是搞制程的，不是搞化学的，光刻胶今后再怎么进化，用聚乙烯醇肉桂酸脂也好，环氧橡胶双叠氮也好，酚醛树脂重氮萘脂也好，那都是化工企业的问题，他们厂家怎么改进配方，那都不是我们要关心的问题。

为了彻底脱胶，我的思路是上双层胶，降低胶膜对光源的反射，也就是目前国际上刚提出来的用抗反射剂来解决胶体残留影响曝光的思路，其中一层胶体在曝光下分解酸性气体，可以彻底清除残胶，解决残胶影响曝光的问题，从而解决显影缺陷。

好吧，我就说这么多看，至于具体的双胶工艺如何做，那都是技术机密，我不能说。

总之突破这两个工艺之后，制程技术直上50纳米不成问题！今后我们重光的制程技术攻关就在这两点上！！！”

要知道，胡一亭在跳槽华创担纲天思930芯片研发总设计师之前，他在浦海微电子装备集团就是专门负责集成电路生产设备的制造与生产工艺流程结合，负责为光刻机等先进制程设备与具体ic生产工艺融合而设计最佳方案的！若论对于晶圆厂制程工艺的了解，他算是1996年地球上排名第一的学术权威。

他刚才这番话完全是按照世界制程工艺未来的技术路线在阐述，可谓是高屋建瓴般的技术见解，好比天水顺着屋脊瓦当流下来那么势不可挡！

这年头国内的制程工艺比起西方来还差得远，西方对华的技术封锁造成了国内在这方面有大量技术空白。

对于在场的工程师们来说，胡一亭的话就像飞流直下三千尺的瀑布一样具有冲击力，听在耳朵里简直就像是晴天霹雳，大家觉得胡一亭的路子实在是邪门！实在是野！但似乎又充满了让人浑身起鸡皮疙瘩的灵感！就好像在大家的眼前打开了一闪光芒四射的大门！门后是堆积如山的奇珍异宝正在烁烁发光！

胡一亭低着头说完之后，抬起头来，见所有人都在激动而不安地注视着他。

以为大家不相信自己的胡一亭开始恼火，扬声大吼道：

“怎么啦？我说错啦？谁不服站出来说说你的解决方案！

你们啊！图样图森破！

我胡一亭是不可能错的！

只要你们跟着我干！0.35微米那就是小菜一碟！

50纳米……指日可待！！！”et